全自動視覺AOl檢查機(jī)
產(chǎn)品描述
產(chǎn)品特點(diǎn)：
• 檢測同時支持線寬測量及套刻測量三合一。
• 表面缺陷檢測能力可達(dá)0.3um。
• 自動檢測無需人工,單機(jī)缺陷檢測模式。
• 靈活高效多種方式的缺陷和自動缺陷分類。
• 單層圖形和多層圖形檢測,及自定義區(qū)域檢測。
• 高精度線寬量及套刻尺寸測量系統(tǒng)。
• 自動腳本編程能力和自動化運(yùn)行。
• 自帶自動檢測料盒功能,自帶 Mapping功能,可雙面檢測。
• 晶圓機(jī)械手完成設(shè)備內(nèi)的晶圓片運(yùn)轉(zhuǎn);JEL/首鐳自主機(jī)械手。
產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域：
全自動晶圓外觀檢查機(jī)主要是適用于晶圓外觀缺陷的檢測設(shè)備，以提高客戶生產(chǎn)效率;適用于4inch，6inch，8inch晶圓。
產(chǎn)品參數(shù)
|
激光類型配置 |
設(shè)備型號SL-WOV1020 |
|
適用晶圓 |
4寸.6寸.8寸 |
|
線掃相機(jī)+激光測量儀 |
16K線掃相機(jī)+激光測量儀：幅寬6mm掃描間隔lum-10um; |
|
相機(jī)鏡頭 |
鏡頭WD:49mm FOV:360mm圖像分辨率：2lum |
|
線掃同軸光源 |
發(fā)光區(qū)域340mm*40mm |
|
線掃線光源 |
組合光源；線光源2組；發(fā)光區(qū)域340mm*20mm |
|
檢測類型 |
外觀不良；尺寸、厚度測量 |
|
產(chǎn)品上下料方式 |
Open cassette; |
|
產(chǎn)品傳送方式 |
日本JEL晶圓ROBOT+Mapping功能 |
|
晶圓載臺 |
X.Y.Z.R載臺：形成6.5mm;粗調(diào)360°、微調(diào)±5°、最小行程5um |
|
晶圓平移模組 |
行程350mm'重復(fù)精度±20um |
|
軟件 |
首鐳專用晶圓外觀檢查軟件系統(tǒng)； |
|
OCR讀取 |
視覺識別(可選配) |
|
FFU |
雙FFU;99.995%@0.3um;400-500cmh |
|
系統(tǒng)對接 |
MES與EAP(具備TCP/IP;支持SECS-GEM通訊標(biāo)準(zhǔn)) |
|
設(shè)備尺寸 |
L:1700mm*W:1350mm*H:1900mm |
相關(guān)產(chǎn)品
歡迎您的留言咨詢
Copyright ? 2024 廣東首鐳激光科技有限公司 版權(quán)所有